德国KNF 的N86KTE,N86KNE 两种隔膜式真空泵广泛应用于CEMS 系统上，国内80％以上CEMS均采用以上两种泵。N86KTE 泵膜采用耐腐蚀泵膜，寿命更长。另外德国SP 公司的SPV-700 隔膜式真空泵也广泛用于CEMS 系统上。
一、技术特点：
1、100％无污染传输，无油，免维护
2、可以24小时连续运转
3、可以任意方向安装
4、低能耗
5、气密性高，低噪音，低震动
6.尺寸小，重量轻，性能高
二、技术参数：
抽气量：6l/min
转速：1420rpm
绝对真空度：100mbar
输出压力：0.5bar
电压：220VAC/0.6A50HZ
功率：60W
电机：230VAC/50Hz 0.3A